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批式湿法设备

单晶圆湿法设备

新工艺材料设备

自主开发软件

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  • 2021年9月

    2021年9月首批集成电路全自动湿法设备(Cassette-less)交付客户

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  • 2021年7月

     2021年7月首批集成电路全自动湿法设备(Cassette Type)交付客户

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  • 2020年9月

    2020年9月成立创微微电子（常州）有限公司