SEMI SECS/GEM

应用
• 自主开发代码，符合标准SEMI半导体设备通信格式与半导体设备报文格式设备使用

竞争优势
• 自主开发代码标准化(模组化)
• 客制化设计
• 符合标准半导体设备通信格式与半导体设备报文格式

特性和规格
• 遵循 SEMI E4(SECS I)、E5(SECS II)、E30（GEM）、E37（HSMS）通讯标准
• 包含主机和设备间传输处理程序(RECIPE)
• 通用槽式清洗设备Scenario