单晶圆湿法设备
新工艺材料设备
自主开发软件
应用 • 客制化自主开发槽式清洗机自动计算排程软件
竞争优势 • 自主开发代码标准化(模组化) • 客制化设计 • RECIPE参数设定 • WPH精准计算
特性和规格 • 演算法动态绘图 • 客制化程度高 • Re-scheduling • 有超车功能
